隨著工業技術向微型化、精密化發展，高真空度環境成為半導體芯片制造、光學鍍膜、食品保鮮等領域的核心需求。傳統真空泵（如旋片泵、水環泵）在極限真空度、抽氣速率及維護成本上存在局限性，而負壓真空羅茨風機通過機械增壓與密封技術的創新，為高真空應用提供了高效解決方案。

負壓真空羅茨風機的技術優勢

（一）高真空度實現能力

負壓真空羅茨風機通過多級串聯或與羅茨泵、分子泵組合，可實現-100 kPa至-1 Pa（絕壓）的真空范圍，滿足半導體清洗、真空蒸鍍等工藝的嚴苛要求。

（二）低泄漏率與穩定性

采用干氣密封、磁力耦合傳動等先進技術，將泄漏率控制在1×10?³ Pa·m³/s以下，確保真空度長期穩定，減少工藝波動。

（三）高效節能與維護便利

相比傳統真空泵，負壓真空羅茨風機在相同真空度下能耗降低20%-30%，且無需潤滑油，維護成本顯著降低。

三、高真空度工業場景的應用解析

（一）半導體制造：晶圓清洗與鍍膜

• 晶圓清洗：在等離子清洗工藝中，負壓真空羅茨風機為反應腔體提供-90 kPa的真空環境，去除晶圓表面有機物與金屬離子，提升鍵合強度。

• 真空鍍膜：在物理氣相沉積（PVD）中，風機維持-10 Pa的真空度，確保金屬原子均勻沉積，形成高反射率或低電阻率的薄膜。

（二）真空包裝：食品與藥品保鮮

• 食品包裝：通過快速抽除包裝袋內空氣至-95 kPa，抑制微生物生長，延長保質期。例如，在咖啡豆真空包裝中，負壓真空羅茨風機可使包裝殘氧率低于1%。

• 藥品封裝：在凍干粉針劑生產中，風機為凍干機提供-80 kPa的真空環境，加速水分升華，保留藥品活性成分。

（三）實驗室設備：質譜儀與電子顯微鏡

• 質譜儀：在離子源與質量分析器之間維持-10?² Pa的超高真空，防止離子碰撞與散射，提升檢測精度。

• 電子顯微鏡：為鏡筒提供-10?? Pa的真空環境，避免電子束散射，實現納米級分辨率。

（四）真空干燥：材料處理與化工生產

• 鋰電池材料干燥：在正極材料制備中，風機將干燥腔體真空度提升至-90 kPa，加速溶劑揮發，提升材料一致性。

• 化工原料脫水：在有機溶劑回收中，風機維持-85 kPa的真空度，降低脫水溫度，保護原料活性。

（五）真空檢測：質譜儀與電子顯微鏡

• 質譜儀：為四極桿質譜儀提供-10?³ Pa的超高真空環境，確保離子傳輸效率，提升檢測靈敏度。

• 電子顯微鏡：在掃描電子顯微鏡（SEM）中，風機維持-10?² Pa的真空度，防止樣品氧化，獲得高分辨率圖像。

1/5